PCM(Process Control Monitor)是一种反映生产线工艺状况的质量监控技术。文章围绕影响电荷耦合器件(CCD)工艺中PCM测试结果的工艺......

分布反馈式(DFB)半导体激光器具有优良的稳定性和单模性, 广泛应用于激光器抽运和光通信等领域。光栅作为DFB激光器的关键部件, 对......

本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ－ＩＣＰ的结构原理，给出了高纵横比微孔列阵的初刻结果，并对有关参数进行了初步讨论。......